基于干涉原理的高精度直线度误差测量

• 作者: 花世群 骆英
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 直线度误差 干涉 CCD
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 76-80
• 页数: 5页
• 分类号: TG8|TH74
• 字数: 3041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.01.017

摘要

将空气劈尖产生的等厚干涉与CCD图像处理技术相结合,提出了一种测量连续空间直线度误差的新方法.此方法利用待测工件的直线度误差改变空气劈尖顶角,并用一元线性回归方法对CCD的像元序号与所接收到的干涉条纹光强极值序号之间线性关系进行拟合,进而确定出空气劈尖顶角大小.由导出的直线度误差与空气劈尖顶角之间的关系,用最小包容区域法对工件的直线度误差进行了评定,评定结果为8.11±0.62 μm.测量结果表明,新的测量方法是可行的,而且测量系统具有精度高、应用范围广的特点,也可应用到锥角、圆度误差等其他几何量的精密测量中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	花世群	江苏大学理学院	27	130	7.0	9.0
2	骆英	江苏大学理学院	123	714	13.0	21.0