深亚微米精度电感位移传感器及测量电路研究

• 作者: 俞朴 刘伟文 刘晓 赵辉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电感传感器 动态位移 深亚微米 过采样 平均滤波
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2428-2431
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 2002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.016

摘要

针对传统电感传感器及其测量系统难于同时满足测量精度和采样速度的现状,提出一种适合动态位移超精测量方法.采用半桥式电感传感器作测量探头,利用集成信号调理电路和△-∑型AD转换器,将高速过采样和平均滤波有机融和,实现了动态微位移的精密测量.实验结果表明,该方法在保障100 Hz速度的前提下,测量稳定性优于士0.01μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵辉	上海交通大学检测技术及仪器系	105	1032	17.0	29.0
2	俞朴	上海交通大学检测技术及仪器系	19	170	6.0	13.0
3	刘伟文	上海交通大学检测技术及仪器系	26	233	9.0	14.0
4	刘晓	上海交通大学检测技术及仪器系	38	355	12.0	17.0