高功率固体激光器洁净工程

• 作者: 吕海兵 唐灿 张林 徐旭 熊迁 王成程 程晓锋 蒋晓东 袁晓东 郑万国
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率固体激光器 洁净工程 大口径光学元件 输出能力 抗损伤 制造工艺 污染物 稳定性
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 298-299
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.1

摘要

随着高功率固体激光器的迅速发展，对激光器的输出能力、稳定性、寿命等都提出了较高的要求。大口径光学元件是激光器的关键元器件，激光器要在高通量下运行需要它具有较高的抗损伤本领。决定光学元件抗损伤能力的因素除材料本身和制造工艺外，另一个重要的因素就是其表面的污染。理论和实验均表明，光学元件表面的污染物会降低抗损伤能力，提高光学元件表面的洁净水平能有效地提高抗损伤能力。