团簇离子束技术的应用进展

• 作者: 侯爱国 吴卫东 唐永健 廖克俊 方亮 王万录 王红斌
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 团簇离子束 电子结构 薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 82-85
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 5212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2006.04.023

摘要

薄膜的制备方法对薄膜的性能和应用有很大影响,精密的电子器件、光学装置等越来越需要高品质的薄膜,这些都需要采用先进的制备方法来制备.结合近年来实验、计算机模拟及理论计算等各方面的研究结果,对应用团簇离子束法制备薄膜及研究团簇粒子方面的研究进展进行了评述,分析了影响薄膜性能的因素,并初步探讨了其成膜机理及团簇粒子的性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学数理学院	109	849	16.0	22.0
2	廖克俊	重庆大学数理学院	66	513	12.0	19.0
3	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
4	方亮	重庆大学数理学院	62	513	12.0	18.0
5	王红斌	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	19	33	3.0	5.0
6	唐永健	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	10	20	3.0	4.0
7	侯爱国	重庆大学数理学院	2	17	2.0	2.0