电子化学品高纯盐酸的生产工艺方法和生产装置

• 来源期刊: 试剂与精细化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 电子化学品 生产装置 高纯盐酸 工艺方法 气体吸收法 金属杂质 产品标准 氯化氢气体 规模化生产 直接生产
• 年，卷（期）: sjyjxhxp_2006,（7）
• 页码范围: 15
• 页数: 1页
• 分类号: TQ111.3

摘要

本项目涉及气体吸收法生产电子化学品-高纯盐酸的方法和实现该方法的生产装置。通过使用本发明的方法和装置，可实现电子化学品-高纯盐酸的直接生产。本发明解决了氯化氢气体的提纯净化的难题，通过气体吸收可实现规模化生产高纯盐酸，其产品的金属杂质和阴离子含量符合VLSI生产用MOS级、BV—Ⅲ（等同3EML—C7）产品标准对金属杂质和阴离子的要求。（申请号200410091153公开号1608975）