多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断

• 作者: 宁兆元 狄小莲 虞一青 辛煜
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多源感应耦合等离子体 朗谬尔探针 等离子体灰化
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 3494-3500
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 5377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.07.049

摘要

基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中.采用了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离子体的电参量分别进行了表征.结果表明,使用多螺旋天线并联方式可以产生低气压高密度的感应耦合等离子体放电,通过调整工艺参量,可以将等离子体密度和光刻胶的刻蚀均匀性控制在80%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	70	528	12.0	18.0
2	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	38	176	8.0	10.0
3	狄小莲	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	5	19	3.0	4.0
4	虞一青	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	3	13	3.0	3.0