电容式RF开关介电电荷及相关可靠性模型及模拟

• 作者: 袁晓林 黄庆安
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式RF MEMS开关 介电电荷 可靠性 漏电流 寿命
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 87-92
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 5112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.01.021

摘要

就介电电荷以及它对电容式RF MEMS开关可靠性的影响进行了分析,在前人的基础上建立起了一个更加全面和准确的介电电荷积累及其相关可靠性模型.介电电荷的产生是由于电介质中有漏电流(Ohmic电流、Frenkel-Poole电流),漏电流中电荷被介质陷阱捕获,进而导致电荷的积累.由此得到了介电电荷随时间的积累公式、开关失效寿命公式以及介电击穿寿命公式,其结果具有一定参考价值.