双面抛光机气动伺服加载系统分析

• 作者: 李伟 钱宁 阮健
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 气动数字伺服阀 气动伺服加载系统 双面抛光机 模块化分析
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 液压气动与专机
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: TH13
• 字数: 2211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2006.08.026

摘要

在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行精确控制,从而保证抛光质量.为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀.同时对气动伺服加载系统进行数学建模和模块化分析,最后进行了实验研究.结果表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	57	397	11.0	17.0
2	阮健	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	202	1651	20.0	31.0
3	钱宁	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	4	14	1.0	3.0