基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究

• 作者: 冯桥华 张洪泉 施云波 胡竹平 郭建英 项金娟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微加工 Al2O3微结构 微壳 Cl2传感器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 生物化学微纳器件与技术
• 页码范围: 2103-2106
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.209

摘要

以膜厚为250 μm的Al2O3膜为微结构基板、95#Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2 mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气敏膜.实现了主动吸气的检测模式,提高了响应时间和气敏性.通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸,用做电极和加热器Pt膜厚为500nm,敏感膜厚为150 nm,微壳深度为150～200μm.测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应,灵敏度为0.01%浓度下0.25倍,并呈现P型半导体的变化规律.研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭建英	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	71	768	14.0	24.0
2	施云波	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	54	262	9.0	12.0
3	张洪泉	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	14	100	6.0	9.0
4	胡竹平	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	3	13	2.0	3.0
5	项金娟	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	4	15	2.0	3.0
6	冯桥华	哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院	1	5	1.0	1.0