飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究

• 作者: 刘世炳 刘勋 左铁钏 陈涛
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 微细加工 黄铜 铝合金 不锈钢
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 1521字
• 语种: 中文

摘要

利用飞秒激光对H62黄铜、lCr18Ni9Ti奥氏体不锈钢和7075铝合金进行加工,研究了激光参数和试验条件对三种合金材料的微细加工效果的影响.试验研究内容包括脉冲扫描速率与刻蚀宽度和深度的关系、入射脉冲数量与刻蚀宽度以及刻蚀效率的关系.运用扫描电子显微镜和激光共焦扫描显微镜对试验结果进行分析,发现对于三种合金材料而言,入射的脉冲数量达到某值后,刻蚀宽度基本保持恒定;黄铜和不锈钢的通道宽度与深度会随着激光扫描速率的提高而降低;飞秒激光可以对黄铜与不锈钢实现冷加工,单个脉冲的刻蚀率分别为102.4 nm和39.83 nm,是比较理想的微加工手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘勋		1	5	1.0	1.0
2	陈涛		1	5	1.0	1.0
3	刘世炳		1	5	1.0	1.0
4	左铁钏		1	5	1.0	1.0