含重氮萘醌化合物翻转成像体系的研究概述

• 作者: 余尚先 杨金瑞 顾江楠
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 工学
• 关键词: 重氮萘醌化合物 翻转成像 抗蚀剂 印刷版材
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 387-395
• 页数: 9页
• 分类号: TQ57
• 字数: 4942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2007.05.010

摘要

本文对含重氮萘醌化合物的翻转成像体系作了详细的总结.所述翻转成像体系主要分为三类,其一主要是通过脱羧反应、酯化反应、酰胺化反应等化学反应生成碱难溶性化合物,使原本通过曝光、显影可获得的阳图图像翻转成负像;其二是以重氮萘醌化合物为产酸剂,通过酸的催化作用使交联剂与成膜树脂发生交联反应,或发生脱保护基的反应,实现翻转成像;还有一类是利用近紫外光和高能射线相结合实现翻转成像.第一类和第三类翻转成像体系在抗蚀剂方面可能有较大的应用价值,而第二类翻转成像体系可能在印刷版材方面有一定的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余尚先	北京师范大学应用化学研究所	39	145	7.0	9.0
2	顾江楠	北京师范大学应用化学研究所	14	50	5.0	6.0
3	杨金瑞	北京师范大学应用化学研究所	17	51	5.0	6.0