物体表面的激光清洗技术

• 作者: 张魁武
• 来源期刊: 世界制造技术与装备市场
• 学科: 工学
• 关键词: 激光清洗 微颗粒
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 产品与技术
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TH16
• 字数: 5267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1015-4809.2007.03.036

摘要

文章论述了激光清洗物体表面微小颗粒的原理、所用激光器、影响因素及工艺技术.并介绍了激光清洗技术在天文望远镜、磁头滑座空气轴承表面的具体应用.准分子激光器是半导体器件、微电子、航空航天、汽车工业和核动力的有效清洗工具.