频谱泄漏对正弦相位调制干涉测量精度的影响

• 作者: 何国田 曾爱军 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 正弦相位调制干涉仪 频谱泄漏 离散傅里叶变换 测量精度 频率变化
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 967-971
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 3975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.07.015

摘要

在正弦相位调制(SPM)干涉仪中,若调制频率或者采样频率发生变化将使干涉信号出现频谱泄漏,减小了谐波分量的幅值,在测量结果中引入了误差.对频谱泄漏的产生及其对测量精度的影响进行了理论分析,获得了频谱泄漏引人测量误差的计算方法.实验测得频率漂移量在-0.3～0.3 Hz内,得到的频谱泄漏引入的误差为0.3～7.9 nm,当超出这个范围时,频谱泄漏误差将迅速增长.实验结果与模拟分析结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何国田	中国科学院上海光学精密机械研究所	13	69	5.0	8.0
5	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
6	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0