三维微机电系统结构静电性质的计算

• 作者: 汤叔楩
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 静电性质 微机电系统 边界元方法
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TM3
• 字数: 1274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2007.z1.008

摘要

介绍对任意厚度极板同样准确并对需要计算的静电性质的任意结构适用的边界元方法解算器,包括那些适于微机电系统的算法.解算器准确度的原因是使用闭形解析表达式的事实,这些表达式在整个物理范畴对计算感应系数是非常有效的.这样,有可能使边界元方法最严格的近似失效,也就是电荷分布在边界单元上的效应可以用定位在单位元的质心的电荷近似.这里,专心于结构的电荷密度和电容,二者对有效的微机电系统的设计都非常重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤叔楩	河北科技大学理学院	16	8	2.0	2.0