微机电系统技术及其应用

• 作者: 李克安 赵运才
• 来源期刊: 湖南理工学院学报（自然科学版）
• 关键词: 微机电系统 组成及特征 材料特性及加工工艺 应用领域
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 86-89
• 页数: 4页
• 分类号: N39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5298.2004.04.026

摘要

微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域,具有广阔的应用前景.在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征,并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李克安	湖南理工学院机电系	29	223	8.0	14.0
2	赵运才	湖南理工学院机电系	9	116	6.0	9.0