基于微机电系统技术的薄膜离子源制备与实验研究

• 作者: 席仕伟 徐翱 杨林 王亚军 金大志 陈磊
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 薄膜离子源 微机电系统 离子电流
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1338-1344
• 页数: 7页
• 分类号: TN136
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2018.youxian.0604

摘要

基于微机电系统技术的薄膜离子源是芯片型中子发生器的关键部件.本文通过在陶瓷基底上制备图形化钛膜并利用3层陶瓷重叠的方法获得了薄膜离子源样品,采用平板探针法和激光共聚焦显微镜得到了薄膜离子源的离子电流及其电极烧蚀特性,并进一步利用高速相机和光谱仪得到了薄膜离子源的放电发光演化图像和等离子体组分信息,最后基于实验结果分析揭示了薄膜离子源放电的工作机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚军	中国工程物理研究院电子工程研究所	33	155	7.0	10.0
2	席仕伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	59	4.0	7.0
3	金大志	中国工程物理研究院电子工程研究所	43	130	6.0	8.0
4	陈磊	中国工程物理研究院电子工程研究所	28	57	4.0	6.0
5	徐翱	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	91	4.0	9.0
6	杨林	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	9	2.0	3.0