ECR等离子源静电探针自动监测系统

• 作者: 吕鑫 彭辉俊 程健
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 电荷放大器 ECR等离子源 静电探针
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 49-50
• 页数: 2页
• 分类号: TP216
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0682.2005.05.015

摘要

ECR等离子源主要由电源系统、抽气系统、供气系统、真空室等设备组成,对于研究型设备,还包括测控部分.传统的测控系统对系统设备大多采用单台测控,人工调节,这样系统效率比较低.该文采用模拟开关切换8路静电探针得到不同位置的等离子体参数,经电荷放大器对弱信号进行放大后显示.该方法在实际使用中取得了较好的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程健	中国科学技术大学自动化系	91	589	12.0	21.0
2	吕鑫	中国科学技术大学自动化系	10	75	5.0	8.0
3	彭辉俊	中国科学技术大学自动化系	8	39	2.0	6.0