电感耦合等离子体源的研究进展

• 作者: 杨定宇 蒋孟衡
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电感耦合等离子体 E型放电 H型放电 静电耦合效应 电子能量分布函数 电感线圈
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 综述报告
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 4213字
• 语种: 中文

摘要

在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体--电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前存在的问题,展望了其应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨定宇	成都信息工程学院光电技术系	39	148	6.0	9.0
2	蒋孟衡	成都信息工程学院光电技术系	23	149	8.0	11.0