采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制

• 作者: 侯凤杰 梁静秋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤阵列 硅V型槽 各向异性腐蚀 端面检测
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 89-94
• 页数: 6页
• 分类号: TN253
• 字数: 2654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.01.015

摘要

阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出了最小槽深与光纤半径及V型槽开口的关系式.用各向异性腐蚀技术制作了硅V型槽,比较了紫外及红外粘接剂的性能,进行了光纤的排列、粘接及抛光,制作出一维光纤阵列.用原子力显微镜测量光纤阵列表面粗糙度为纳米量级,用ZYGO数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为3～5 μm.该项工作为二维光纤阵列的高精度制备奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁静秋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	66	389	11.0	17.0