基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法

• 作者: 庄贵生 潘欣欣 陈翔 陈迪
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: PDMS 模具 热模压 微流控
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 46-50
• 页数: 10页
• 分类号: TN4
• 字数: 3826字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法.通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具.将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构.相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点.另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄贵生	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	11	60	6.0	7.0