数字式微型化低功耗电容测微仪的研究

• 作者: 刘健 刘宇 孙春生 王宝光
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数字式 微型化 电容测微仪 直线拟合
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1502-1505
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.07.012

摘要

介绍一种新型电容测微仪.通过测头与测量电路的一体化设计,精缩了仪器体积;采用差动测头结构,减少了由于环境变化引起的测量误差;使用数字信号传输测量结果,增加了信号的传输距离,提高了抗干扰能力.给出了电容量和被测距离之间的非线性关系的直线拟合方法.研究结果表明:有效直径为3 mm的传感器测量范围为±80 μm,分辨力达到0.01 μm,时间稳定性达到0.01 μm/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘健	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	15	156	7.0	12.0
2	刘宇	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	34	184	6.0	13.0
3	王宝光	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	88	1144	15.0	30.0
4	孙春生	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	4	30	4.0	4.0