激光作用生成的网孔硅结构

• 作者: 刘世荣 吴克跃 王海旭 秦朝建 许丽 金峰 黄伟其
• 来源期刊: 贵州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 激光辐照 纳米网孔壁 光致荧光增强 氧化硅界面态
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 146-149,174
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5269.2007.02.010

摘要

作者结合量子受限效应,提出纳硅晶与氧化硅界面态发光模型来解释激光作用生成的纳米网孔壁结构的强荧光效应.将功率为50W、波长为1064nm的YAG激光束(束斑直径0.05mm)照射在硅样品表面打出小孔,在孔内的侧壁上,有很特殊的网孔形结构,其中的网孔壁厚为纳米尺度,这里有很强的受激荧光发光效应,发光峰中心约在700nm处.我们将激光与硅样品的作用隔离于无氧化的环境里,分别比较了将硅样品浸入酒精、氢氟酸和水中的激光加工结果,其发光情况证实了该发光模型的真实性.优化激光加工的条件,我们获得了较强发光的样品.