新型硅-铝-硅结构MEMS加工技术及应用

• 作者: 徐永青 李海军 杨拥军 郑七龙
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 体硅工艺 硅-铝-硅(SAS) 合金 键合 光开关
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 422-423
• 页数: 2页
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.151

摘要

提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术.采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刻蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工.该技术已成功应用到MEMS光开关及其他MEMS器件的制作中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐永青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	118	5.0	10.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	李海军	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	3	1.0	1.0
4	郑七龙	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	3	1.0	1.0