洁净室压差风量主动控制方法探讨

• 作者: 徐文华 杜世元
• 来源期刊: 制冷技术
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净室 缝隙 压差风量 压力控制
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TB6
• 字数: 4786字
• 语种: 中文

摘要

本文总结了关于缝隙特性的研究和目前工程中洁净室压差风量的计算方法,根据这些方法设计人员仍然难以准确确定洁净室的压差风量,作者通过调查指出了目前洁净室设计和施工中存在压差风量偏大的问题,问题的起因不是因为洁净室不能做到要求的密封性,而是在于密封性比较好的洁净室存在调试的困难.本文从便于实现压力控制和节能的角度出发,提出了对洁净室的压差风量进行主动控制的观点和并通过实验初步探讨了相应的控制方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐文华		54	464	14.0	19.0
2	杜世元		2	6	2.0	2.0