扭摆型谐振式磁强计及其激振与测控系统设计

• 作者: 任大海 尤政 阎梅芝
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 谐振 磁强计 电容检测
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 190-196
• 页数: 7页
• 分类号: TM936.1
• 字数: 5098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.03.007

摘要

研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统,设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构,其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰.设计了L形梁来释放加工过程中的应力,推导了开环系统和闭环系统的传递函数,通过初步参数设计,对扭矩随线圈匝数的变化进行了仿真,并介绍了基于对被测信号进行调制和同步解调的电容检测原理.结果表明,该谐振式MEMS磁强计灵敏度和分辨率高,多匝线圈方案使器件灵敏度大幅度提高,10匝线圈时的扭矩是单匝线圈的8倍,磁强计分辨率优于30 nT.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
2	任大海	清华大学精密仪器与机械学系	25	422	10.0	20.0
3	阎梅芝	清华大学精密仪器与机械学系	5	22	3.0	4.0