微谐振梁的激振与拾振研究

• 作者: 杨苗苗 毋正伟 王军波 陈健 陈德勇 陈李
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 微谐振梁 模态提取 同频干扰
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 页码范围: 2432-2436
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.06.017

摘要

主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
4	毋正伟	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	79	4.0	7.0
5	陈李	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	38	3.0	5.0
6	杨苗苗	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	19	2.0	2.0