微型光扫描器研究

• 作者: 向思桦 易新建 赖建军 陈四海 黄鹰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜阵列 压电驱动器 微光机电系统 微型光扫描器
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2007.01.006

摘要

设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈四海	华中科技大学光电子科学与工程学院	46	459	12.0	18.0
3	黄鹰	华中科技大学光电子科学与工程学院	17	170	8.0	12.0
7	向思桦	华中科技大学光电子科学与工程学院	5	45	4.0	5.0
10	赖建军	华中科技大学光电子科学与工程学院	30	317	10.0	16.0