基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统

• 作者: 张波 李昕欣 郭久福 韩建强 鲍海飞
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 原子力显微镜 微纳结构 硬件 软件 悬臂梁 力学测试
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 223-227
• 页数: 5页
• 分类号: TH742
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.02.010

摘要

原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间.随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统.在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展.基于原子力显微镜中的一个最基本的力-位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试.相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	52	280	11.0	13.0
2	鲍海飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	21	31	3.0	5.0
3	韩建强	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	20	2.0	3.0
4	张波		3	14	2.0	3.0
5	郭久福		1	12	1.0	1.0