非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究

• 作者: 刘建国 李平 李萍 王霞
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 产酸剂 光致抗蚀剂 N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 198-203
• 页数: 6页
• 分类号: O64
• 字数: 2079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2007.03.006

摘要

以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂--N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可用于深紫外光刻工艺体系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李平	华中科技大学化学与化工系	109	589	12.0	16.0
2	李萍	华中科技大学化学与化工系	68	385	13.0	15.0
3	刘建国	华中科技大学化学与化工系	117	790	13.0	21.0
4	王霞	华中科技大学化学与化工系	40	211	9.0	12.0