离子束加工中驻留时间的求解模型及方法

• 作者: 周林 戴一帆 李圣怡 焦长君 解旭辉
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束加工 光学零件加工 CEH模型 截断奇异值分解法(TSVD) L-曲线
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 107-112
• 页数: 6页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.02.007

摘要

驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间.然而,反卷积问题是一个病态问题,所以驻留时间一般较难很好地求解出.为了解决这个问题,介绍了一个离散的线性模型--CEH模型,分析了该模型的优点.提出应用截断奇异值分解法(TSVD)来求解CEH模型;深入分析了该方法的优点,并利用"L-曲线"分析了驻留误差和加工量之间的关系以及用"L-曲线"对CEH模型中去除点和驻留点的不同取法进行了评价.仿真结果表明,CEH模型和TSVD方法对于求解光学镜面离子束加工中的驻留时间很有效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
4	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
5	焦长君	国防科技大学机电工程与自动化学院	10	210	6.0	10.0