边缘效应对微镜静态特性的影响

• 作者: 梁志达 袁丽芸 陆静 韦笑梅
• 来源期刊: 广西工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微镜 边缘效应 非线性方程 静态特性 增量迭代
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TP211
• 字数: 2290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6410.2007.04.005

摘要

考虑边缘效应的影响,对微镜的静电力驱动扭矩进行了修正,建立了微镜的非线性力学模型,并利用增量迭代的方法求解微镜的静力学方程.数值分析表明,考虑边缘效应后微镜的扭转角增加,在一定情况下微镜的几何尺寸会对边缘效应产生很大的影响,主要因素是微镜的宽度与极板间距的比值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁丽芸	广西工学院汽车工程系	20	95	6.0	8.0
2	陆静	广西工学院汽车工程系	24	88	6.0	8.0
3	韦笑梅	广西工学院汽车工程系	8	14	2.0	2.0
4	梁志达	广西工学院汽车工程系	6	5	2.0	2.0