绝缘薄膜介电测量中的电极边缘效应误差分析

• 作者: 李俊 郑飞虎 徐阳 张冶文
• 来源期刊: 绝缘材料
• 关键词: 相对介电常数 聚合物薄膜 电极边缘效应 三电极法
• 年，卷（期）: 2024,（1）
• 页码范围: 116-121
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.16790/j.cnki.1009-9239.im.2024.01.017

摘要

接触法和非接触法作为两种常用的聚合物薄膜相对介电常数测量方法，在其测量过程中电极边缘效应是不可避免的误差来源。但电极边缘效应引起的误差难以量化，为解决该问题，利用COMSOL仿真软件对三电极结构进行建模仿真，分别得到接触法和非接触法中变电容法的电极边缘效应误差，并进行对比分析。结果表明：变电容法的电极边缘效应远大于接触法的电极边缘效应。以电极边缘效应误差不高于0.50%为标准，当薄膜厚度小于40μm时，接触法的电极边缘效应可忽略不计，而对于变电容法只有薄膜厚度小于30μm，其电极边缘效应才可忽略不计。