变间隙不接触三电极薄膜材料介电参数的测量

• 作者: 刘英 曹晓珑 李兆林 王磊
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 空气介质 变间隙 不接触三电极 介电参数 薄膜
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 704-708
• 页数: 5页
• 分类号: TM930.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2006.06.020

摘要

利用自行研制的高精度变间隙不接触三电极系统,研究了在薄膜材料(厚度小于30μm)相对电容率(εr)和介质损耗角正切(tanδ)测量中的相关技术问题,包括试样厚度测量的准确度,薄膜多层总厚度的合理选择,试样与电极间预留空气间隙的大小等.此外,还对两种不接触电极方法(变间隙法和变电容法)作了比较,分析了各自的优缺点及适用范围.研究结果表明,空气介质的变间隙不接触电极方法可成功应用于板材和薄膜试样εr和tanδ的测量,εr的测量值误差可控制在5%以内,tanδ可测到10-5数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹晓珑	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	91	1600	23.0	35.0
2	王磊	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	146	991	16.0	23.0
3	刘英	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	52	898	14.0	29.0
4	李兆林		20	76	5.0	7.0