高压运算放大器PA69在MEMS光栅驱动控制中的应用

• 作者: 梁庆 虞益挺
• 来源期刊: 国外电子元器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS光栅 高压运算放大器 PA69 自激
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 应用与设计
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN721
• 字数: 2320字
• 语种: 中文

摘要

根据MEMS光栅的工作特点及结构参数,提取光栅的等效电容,并采用高压运算放大器PA69研制出一种新型的MEMS光栅的动态驱动电路.为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性.经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合.该动态驱动电路完全能够满足MEMS光栅动态复杂控制的需要.