有机半导体薄膜层的图形化方法

• 作者: 刘兴华 刘明 刘舸 商立伟 涂德钰 甄丽娟
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 图形化 有机半导体 喷墨打印 微接触印刷
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3153字
• 语种: 中文

摘要

对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍.对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	207	1983	20.0	38.0
2	刘兴华	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	8	25	3.0	5.0
3	甄丽娟	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	2	0	0.0	0.0
4	商立伟	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	3	5	1.0	2.0
5	涂德钰	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	4	7	2.0	2.0