静电驱动的MEMS可变电容器

• 作者: 冯勇建
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 可变电容 MEMS 静电驱动
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 6-7,13
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.02.003

摘要

介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件,给出了工艺流程和测试结果.通过实验测试证明:用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电系	103	953	15.0	26.0