基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
一种新的工艺制备克拉霉素掩味颗粒
克拉霉素
微丸
掩味颗粒
涡流检测中缺陷形状可视化的一种新算法
涡流检测
区域导数
Nystrm方法
反演缺陷
一种新型洋葱清洗装置的设计
洋葱
清洗装置
滚筒
设计
一种新的鸡胚尿囊膜模型的建立与应用
血管生成
鸡胚尿囊膜
抑制剂
氢化可的松
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 光掩膜缺陷和清洗:一种新环境
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(11) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 32-37
页数 6页 分类号
字数 6050字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.11.015
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (1)
节点文献
引证文献  (2)
同被引文献  (1)
二级引证文献  (1)
2002(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2007(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2014(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2020(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
论文1v1指导