用于显示的透射型法布里-珀罗光调制器

• 作者: 史玲娜 孙吉勇 张智海 张洁 黄尚廉
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 法布里-珀罗光调制器 干涉 显示
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 2240-2244
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 3659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.12.026

摘要

提出了一种用于显示的,基于透射型法布里-珀罗干涉的微机电系统(MEMS)光学调制器.基于多光束干涉原理分析了调制器的光学特性,推导出了调制器结构的特征参量.分析表明,当调制器的腔长为λc/4时,透射光可以实现暗态显示;当调制器的腔长取为零或λc/2时,透射光可以实现亮态显示.通过控制法布里-珀罗腔长,就可实现调制器的明暗调制.理论上证明了该调制器用于显示的可行性.设计了一种基于微机电系统的透射型法布里-珀罗光学调制器结构,该调制器的理论衬比度达到150.仿真结果表明,该调制器具有2.4 V的低电压静电驱动性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	77	522	12.0	19.0
2	黄尚廉	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	164	3610	34.0	51.0
3	张智海	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	38	198	9.0	12.0
4	孙吉勇	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	14	169	6.0	13.0
5	史玲娜	重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室	8	37	4.0	6.0