基于平板扫描器的新型AFM系统

• 作者: 于海峰 刘超 张冬仙
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 平板扫描器 原子力显微镜(AFM) 传统扫描器 交叉耦合误差
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器及装置
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TN742
• 字数: 1863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2007.04.013

摘要

研制了一种基于平板扫描器的新型原子力显微镜(AFM)系统.该系统创新地把二维平板扫描器和一维反馈控制器相结合,有效地克服了传统扫描器Z向反馈控制与XY扫描平面之间的非线性交叉耦合误差,同时保证了大范围扫描时检测光路的稳定性.利用该系统与传统AFM作了氧化铝薄膜和光栅对比扫描实验,结果表明这种AFM系统能够获得无扭曲、规则的理想图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
2	刘超	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	66	663	12.0	24.0
3	于海峰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	19	2.0	3.0