基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台的研制

• 作者: 张鸿海 施阳和 汪学方
• 来源期刊: 中国陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 压电陶瓷测试 多载荷加载台 设计原理
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 探索与交流
• 页码范围: 34-35,13
• 页数: 3页
• 分类号: TQ17
• 字数: 1644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9642.2007.08.010

摘要

MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的.为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台.这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置.从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鸿海		68	430	11.0	16.0
2	汪学方		32	210	8.0	12.0
3	施阳和		15	46	4.0	6.0