新型真空蒸镀设备的研制

• 作者: 王丽瑛 王琪
• 来源期刊: 吉林化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 蒸镀 镀膜 轰击电极 蒸发电极
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 54-55,59
• 页数: 3页
• 分类号: TF131+.2
• 字数: 1720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2853.2007.01.017

摘要

阐述了一种自行研制的大型真空蒸镀设备的结构、特点及镀膜过程,此设备镀室容量大,适用性强,并具有独特的旋转式蒸发电极,可使镀层更均匀的沉积到镀件上,提高了产品的蒸镀质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王琪	吉林农业大学工程技术学院	44	180	7.0	12.0
2	王丽瑛	长春大学生物科学技术学院	2	13	2.0	2.0