Kalrez(R)全氟弹性体系列专题讲座(五)Kalrez(R)在半导体工业中的应用

• 作者: 肖风亮
• 来源期刊: 世界橡胶工业
• 学科: 工学
• 关键词: 全氟弹性体 半导体 耐化学介质
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 胶料与配合
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TQ33
• 字数: 4020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8232.2007.02.001

摘要

半导体的加工过程对工程技术人员分别提出了耐热、耐化学介质、超纯净等方面的要求,不同的Kalrez(R)密封件可满足这些要求.该文介绍了不同Kalrez(R)胶料的性能及其在半导体工业中的选择原则,概述了Kalrez(R)胶料在半导体工业常用化学介质中的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖风亮	广州机械科学研究院密封研究所	61	91	5.0	5.0