用于CTCP技术的射频无电极放电氮气等离子体光源研究

• 作者: 张广秋 李朝阳 陈强
• 来源期刊: 影像技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机直接制版技术 射频无电极放电 等离子体光源
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 印刷制版
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TS804
• 字数: 2460字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0270.2007.03.013

摘要

本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对"星光"PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光.为此,进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数,得到在230Pa、160W、采用两个传输透镜聚焦后获得的光源功率密度是2.23mW/cm2.最后给出了运用此光源对PS版的曝光结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理与材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	张广秋	北京印刷学院等离子体物理与材料研究室	32	119	6.0	9.0
3	李朝阳	北京印刷学院等离子体物理与材料研究室	16	28	3.0	4.0