二硅化钼发热元件的多样化及其发展趋势

• 作者: 冯培忠 王晓虹
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: 加热炉 发热元件 二硅化钼
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TM924.03|TF125.241
• 字数: 2808字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2007.03.019

摘要

介绍了二硅化钼发热元件的特性;比较了挤压成形和高温热弯成形工艺的特点,指出高温热弯成形更容易获得形状复杂的元器件;综述了二硅化钼发热元件的多样性,着重阐述了螺旋形和处理半导体制品专用快速热处理炉、扩散炉和CVD炉的复杂形状二硅化钼发热元件;论述了二硅化钼发热元件未来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓虹	中国矿业大学材料科学与工程学院	29	319	9.0	17.0
2	冯培忠	中国矿业大学材料科学与工程学院	25	201	6.0	13.0