复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究

• 作者: 胡作启
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 硬薄膜 复合薄膜 氧化物 热稳定性
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.04.027

摘要

用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了复合CrCO-Ti和CrCO保护薄膜,在氮气气氛条件下,研究了这些薄膜的结构、粘合力、耐磨性等随退火温度的变化规律和掺Ti对其性能的影响.得出结论:沉积的薄膜是非晶态薄膜,这些薄膜的耐磨能力达到10-8mm3/Nm;掺Ti能增强薄膜的柔韧性和负载能力,但在400℃及以上退火条件下,薄膜的结构、粘合力、耐磨能力等开始变化,而OEM为40%的复合CrCO-Ti薄膜具有较好的热稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡作启	华中科技大学电子科学与技术系	17	60	5.0	7.0