ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响

• 作者: 周蓓 廖斌 朱守正
• 来源期刊: 应用科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电感耦合微波等离子体源(ICP) 平面微带螺旋天线 数值仿真
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 359-364
• 页数: 6页
• 分类号: TN99
• 字数: 3086字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0255-8297.2007.04.006

摘要

分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖斌	华东师范大学信息学院电子系	33	128	6.0	9.0
2	周蓓	华东师范大学信息学院电子系	16	75	6.0	8.0
3	朱守正	华东师范大学信息学院电子系	59	225	8.0	12.0