1×16微机电系统光纤连接器阵列的研制

• 作者: 丁桂甫 张丹 戴旭涵 蔡玉丽
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 光纤连接器阵列 微机电系统 集成制造
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 87-88,92
• 页数: 3页
• 分类号: TN253|TN929.11
• 字数: 1506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.07.030

摘要

一种基于MEMS工艺的硅基阵列化光纤连接器,具有微型化、可集成制造和重复性好等特点.每个单元利用硅V型槽与其上集成制造的电沉积流线型曲面金属镍盖板的组合形成了方便光纤插拔的喇叭口形导引通道和可实现光纤定位及精确自对准的双悬臂梁形夹持通道.采用Ansys软件对双悬臂梁结构在不同的厚度与翘曲位移条件下对光纤产生的压制力进行建模与仿真,并将其与理论分析结果进行比较.成功地将单元扩展成1 ×16阵列,体积仅为6.8 mm ×15.2 mm×0.5 mm,各单元插入损耗约为0.3dB.