大气状态下AFM阳极氧化加工重复性的研究

• 作者: 刘庆纲 张超艳 李锁印 祁森 胡小唐
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加工重复性 原子力显微镜阳极氧化加工 最大残差法
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 264-267
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153.6
• 字数: 1377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.05.010

摘要

为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究.本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,通过最大残差法计算了它们宽度和高度的重复性百分比,得到所有的重复性百分比都小于1%,表明文中所提供的加工条件下,加工钛膜具有很好的重复性.同时,通过点阵列与线阵列的理论变换方法,进一步验证了在加工氧化钛线时采用0.1μm/s扫描速度的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆纲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	189	8.0	10.0
2	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	张超艳	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	3	1.0	1.0
4	祁森	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	2	1.0	1.0
5	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0