两种制备多晶铜铟硒薄膜方法的比较

• 作者: 史伟民 徐环 林飞燕 秦娟 魏光普
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 铜铟硒 薄膜太阳电池 真空蒸发法 硒化法
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 528-530
• 页数: 3页
• 分类号: TM615
• 字数: 1789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.04.020

摘要

采用真空顺序蒸发铜铟金属预置层后真空硒化退火的方法(硒化法),以及真空三元叠层蒸发后氮气气氛退火的方法(叠层法)分别制备了太阳电池吸收层材料CuInSe2薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜、能量色散X射线分析技术等分析手段对薄膜进行了表征.结果表明:两种方法制备的薄膜形貌都比较致密均匀,晶粒直径分别约1.5 μm和约1 μm.组分分析表明所制薄膜均为富铜CIS.硒化法制备的CIS薄膜具有单一的黄铜矿相结构;而叠层法制备的薄膜含有少量杂相,如β-In2Se3等.因此硒化法制备的薄膜更适于作为太阳能吸收层材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐环	上海大学材料科学与工程学院	4	42	3.0	4.0
2	史伟民	上海大学材料科学与工程学院	56	313	10.0	14.0
3	林飞燕	上海大学材料科学与工程学院	3	37	2.0	3.0
4	秦娟	上海大学材料科学与工程学院	6	11	2.0	3.0
5	魏光普	上海大学材料科学与工程学院	14	115	5.0	10.0