角位置敏感探测器及其有限元分析

• 作者: 丁海峰 李振庆 黄梅珍
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 角位置敏感探测器 结构设计 有限元 输出特性
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 2064-2069
• 页数: 6页
• 分类号: TN364+.1
• 字数: 2922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2007.11.027

摘要

介绍了一种基于半导体横向光电效应的角位置敏感探测器的结构设计,采用有限元方法对该角位置敏感探测器的输出特性:线性度、角度精度及响应灵敏度,进行了模拟计算,在较大的角度范围内(如90°)进行测量,得到了很高的线性精度(小于0.04%)和角度测量精度(约20″).分析讨论了材料电学参量及模型结构参量等因素对其测角精度的影响,通过优化选取材料及结构参量,可以使线性度(小于0.01%)及精度(小于1″)更高,能够用于高精度的角度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李振庆	上海交通大学物理系光学工程研究所	4	57	2.0	4.0
2	丁海峰	上海交通大学物理系光学工程研究所	5	57	2.0	5.0
3	黄梅珍	上海交通大学物理系光学工程研究所	36	304	10.0	17.0